XP-703DⅢ半導(dǎo)體材料氣體檢測

產(chǎn) 品說明

檢測對象：H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3

檢測濃度：1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm

檢測原理：熱線型半導(dǎo)體式

采樣方式：自動吸引式

應(yīng)用行業(yè)：半導(dǎo)體制造

產(chǎn)品特點

· 小型·輕量

· 可以檢查非常微量的氣體泄漏

· 適合氫氣相關(guān)設(shè)備的安全防護

· 搭載的泵有自動停止功能

· 搭載[自動氣體排氣模式]功能

· 保護等級約為IP22（JIS C 0920）※安裝皮套時

產(chǎn)品用途

· 半導(dǎo)體工廠/石油化學(xué)工廠等

· 在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場進行泄漏檢測

產(chǎn)品參數(shù)