TP-70DGⅡ氣體探測器

產(chǎn) 品說明

TP-70DGⅡ氣體探測器用于C4F6?C5F8?COS的檢測器

通過采用含有催化劑的熱分解器，實(shí)現(xiàn)減少干擾帶來的影響

單觸式的傳感器更換方式

搭載新型智能化傳感器

采用易于觀察的大型字符LCD

搭載流量自動調(diào)整功能

用于檢測半導(dǎo)體工廠內(nèi)的C4F6/C5F8/COS

用于對儲氣瓶存放柜及半導(dǎo)體制造裝置進(jìn)行檢測

用于無塵室內(nèi)的環(huán)境監(jiān)測

產(chǎn)品類別	固定式
類型	智能型檢測部
檢測對象氣體	C4F6/C5F8/COS
檢測原理	催化＋定電位電解式
檢測范圍	0～5ppm（C4F6?C5F8） 0～15ppm（COS）
報警設(shè)定值	1st：2ppm/2nd:4ppm（C4F6?C5F8） 1st：5ppm/2nd:10ppm（COS）
檢測方式	泵吸式
報警種類	氣體報警/故障報警
報警內(nèi)容	1st：ALM1指示燈閃爍、或亮燈(紅色) 2st：ALM2指示燈閃爍、或亮燈(紅色)
電源	AC100～240V±10%
外形尺寸?重量	約180(W)×225(H)×285(D)mm（不包含突起部分）約6.0kg
使用時的溫濕度范圍	20～40℃（無驟變） 40～70%RH（無結(jié)露）